工業制取高純單晶硅的步驟如下：如何提純硅，然后將粗硅轉化為有揮發性并易提純的四氯化硅或三氯氫硅；硅的提純方法，最后用區域熔融法進一步提純并制成高純單晶硅，有十幾種，在電爐中用氫氣還原，