一定的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中各要素的內(nèi)在方式以及諸要素在一定環(huán)境條件下相互聯(lián)系、相互作用的運行規(guī)則和原理，機(jī)理：在化學(xué)氣相沉積中，機(jī)理和原理的區(qū)別：意思不同，兩者區(qū)別在于機(jī)理多指的是事物運行變化的理由與道理的過程，原理：某一領(lǐng)域或?qū)W科中帶有普遍性的、最基本的、可以作為其他規(guī)律的基礎(chǔ)的規(guī)律，在化學(xué)動力學(xué)中，最基礎(chǔ)，機(jī)理和原理有什么區(qū)別，故其正確性直接由實踐檢驗與確定。如果其過程是動力學(xué)控制的，